半导体及特殊气体--- 背压阀
BPY系列膜片背压阀
特征
优异的灵敏性和设定点压力稳定性
内部容积小
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据
控制压力不能高于:250psig
压力控制范围:0~25、0~50、0~100或0~250psig
主元件材料:
阀座:PCTFE
膜片:316L
工作温度:-40°C~+60°C(-40°F~+140°F)
泄漏区(氦气):
内漏:无可见气泡冒出
外漏:≤1×10-9mbar.l/s
流量系数(Cv):0.3
重量:≈0.9kg(1.98lbs)
本体端口:入口、出口和压力表端口-1/4NPT阴螺纹
BPO系列膜片背压阀
特征
优异的灵敏性和设定点压力稳定性
内部容积小
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据
控制压力不能高于:500psig
压力控制范围:0~25、0~50、0~100或0~500psig
主元件材料:
阀座:PCTFE
膜片:316L
工作温度:-40°C~+60°C(-40°F~+140°F)
泄漏率(氦气):
内漏:无可见气泡冒出
外漏:≤1×10-9mbar.l/s
流量系数(Cv):1.0
本体端口:入口、出口和压力表端口-1/2NPT阴螺纹
BPM系列活塞背压阀
特征
活塞传感设计具有更大的压力控制范围
内部容积小
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据
控制压力不能高于:1000psig
压力控制范围:10~300、10~500或10~1000psig
主元件材料:
阀座:PCTFE
活塞:316L
O形塞:Viton或Kalrez
工作温度:-26°C~+74°C(-15°F~+165°F)
泄漏率:
内漏:无可见气泡冒出
外漏:无可见气泡冒出
流量系数(Cv):0.3
重量:≈0.9kg(1.98lbs)
本体端口:入口、出口和压力表端口-1/4NPT阴螺纹
BPH系列活塞背压阀
特征
活塞传感设计具有更大的压力控制范围
止推滚柱轴承使得操作更容易
技术数据
控制压力不能高于:不锈钢:10000psig
压力控制范围:5~500、5~800、10~1500、15~2500、25~4000、50~6000、200~10000psig
主元件材料:
阀体:316不锈钢或黄铜
阀座:PEEK
活塞:316L
O形圈:Viton或Kalrez
工作温度:-26°C~+74°C(-15°F~+165°F)
泄漏率:
内漏:无可见气泡冒出
外漏:无可见气泡冒出
流量系数(Cv):0.25
重量(减压阀):≈2.6kg(5.7lbs)
本体端口:入口、出口和压力表端口-1/4NPT阴螺纹