半导体及特殊气体—减压阀
FR 15 系列紧凑型活塞减压阀
特征:
设计紧凑,外形尺寸小
内部容积小
入口安装 40 μm 过滤元件
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据:
介质接触材料:
阀体:316、316L或 黄铜(镀镍)
阀座:PCTFE、PEEK 或 Vespel
活塞:316 L
O形圈:Viton、Kalrez 或 Buna-N
过滤元件: 316 L
功能性能:
测试压力:大额定压力的150%
爆破压力:做大额定压力的300%
泄漏率:内漏:无可见气泡冒出,外漏:无可见气泡冒出
流量系数(Cv):0.06
重量(仅减压阀):0.4 kg(0.93 lbs)
本体端口:入口、出口-1/4”NPT 阴螺纹
工作条件:
入口压力不能高于: 6000 psig
出口压力范围:0~80 0~500 0~1500 psig
工作温度:-26°C~+74°C(-15°F~+165°F)
FR2 系列常规膜片减压阀
特征:
优异的灵敏度和这定点压力稳定性
内部容积小
入口安装 40 μm 过滤元件
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据:
单级减压阀
入口压力:1500 psig
出口压力范围:0~25、0~50、0~100、0~250 psig
内部元件材料:阀座:PCTFE,膜片:316 L,过滤元件:316 L
工作温度:-40°C ~+74°C (-40°F~+165°F)
泄漏率(氦气):内漏:≤ 1 × 107 mbar·l/s,外漏:≤ 1 × 109 mbar·l/s
流量系数(Cv):0.14
重量(仅减压阀):≈0.9 kg (1.98 lbs)
本体端口:入口、出口、压力表端口- 1/4”NPT阴螺纹
FR3 系列常规活塞减压阀
特征:
活塞传感设计具有更大的出口压力调节范围
内部容积小
入口安装 40 μm 过滤元件
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据:
单级减压阀
入口压力: 3000 或 6000 psig
出口压力范围:0~250、0~500、0~750、0~1000 或 0~2500 psig 内部元件材料:
无自排放结构:主阀座 PCTFE
自排放结构:主阀座 PEEK,泄放阀座PCTFE
排放口阀座:PCTFE
活塞:316L
O形圈:Viton 或 Kalrez
过滤元件:316L
工作温度:-26°C~+74°C(-15°F~+165°F)
泄漏率:内漏:无可见气泡冒出,外漏:无可见气泡冒出
流量系数(Cv):无自排放:0.06,自排放:0.1
重量(仅减压阀):≈0.9 kg (1.98 lbs),本体端口:入口、出口、 压力表端口-1/4”NPT阴螺纹
FR4 系列中流量减压阀
特征:
兼具大流量(Cv 1.0)和高灵敏度
大直径膜片提高了压力灵敏度
平衡阀芯设计降低供压效应
特殊清洁和包装工艺,适用于富氧环境
技术数据:
单级减压阀
入口压力:500 或 3000 psig
出口压力范围:0~25 0~50 0~100 0~150 或0~200 psig
内部元件材料:阀座:PCTFE,膜片:316L
工作温度:-40°C~+60°C(-40°F~+140°F)
泄漏率(氦气):内漏:无可见气泡漏出,外漏:≤ 1× 109 mbar·l/s
流量系数(Cv):1.0
重量(仅减压阀):≈ 1.6 kg (3.53 lbs)
本体端口:入口、出口-1/2”NPT阴螺纹,压力表端口-1/4”阴螺纹
FRH 系列**活塞减压阀
特征:
入口压力可达 10000 psig
活塞传感设计具有更大的出口压力调节范围
入口内置安装 40 μm 过滤元件
技术数据:
入口压力:不锈钢:10000 psig,黄铜:6000 psig
出口压力范围:10~500、15~800、15~1500、30~2500,50~4000、60~6000 或 200~10000 psig
内部元件材料:阀座:PEEK、活塞:316、O形圈:Viton 或 Buna-N、 过滤元件: 316 L
工作温度:-26°C~+74°C(-15°F~+165°F)
泄漏率:内漏:无可见气泡冒出,外漏:无可见气泡冒出
流量系数(Cv):0.06
重量:≈ 2.6 kg (5.75 lbs)
本体端口:入口、出口和压力表端口 - 1/4”NPT阴螺纹