半导体及特殊气体---隔膜阀
GM系列:
适合超高纯度应用
阀体低内容设计,可完全清扫流道
全封闭式阀座设计具有优越的抗膨胀和防污染能力
Elgiloy材料隔膜:**度、高耐腐蚀性、使用寿命长
气动执行机构 操作快速、使用寿命长
工作气压可达:17.2bar(250psig)
气动执行器执行压力:4.2~6.2bar(60~90psig)
工作温度:PCTFE:-23~65°C(-10~150°F)
PFA:23~150°C(-10~302° F)
泄漏率:内部:≤10^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
外部:≤10^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
内通径:4.1mm(0.16in.)
流量系数:0.27
接口:1/4至3/8,6mm至8mm
流道特征:直通,三通,二阀三通,三阀四通
GH系列:
全密封式PCTFE阀座设计具有优越的抗膨胀和防污染能力
Elgiloy材料隔膜:**度、高耐腐蚀性、使用寿命长
手动和气动执行机构可选
工作压力可达:206bar(3000psig)
气动执行器执行压力:4.2~6.2bar(60~90psig)
工作温度:PCTFE:-23~65°C(-10~150°F)
泄漏率:内部:≤10^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
外部:≤10^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
内通径:4.1mm(0.16in.)
流量系数:0.2
接口:1/4至3/8,6mm至8mm
流道特征:直通,三通
GL系列:
超大流量流道设计
全金属隔膜密封
润湿区域无弹簧或螺纹,从而使操作更加清洁
镶嵌式阀座有助于无泄漏的关闭
阀杆顶部位置指示阀门的开关位置
工作压力可达:20.6bar(300psig)
工作温度:PCTFE:-23~65°C(-10~150°F)
Vespel:-23~121°C(-10°~250°F)
泄漏率:内部:≤1.0^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
外部:≤1.0^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
内通径:28.6mm(1.125in.)
流量系数:13
接口:3/4至1,23mm至25mm
流道特征:直通,带吹扫口直通
GF系列:
可用于真空应用
带有全包围的软阀杆尖,可反复关闭
手动(带开关 指示环)和气动执行机构
工作压力可达:手动:241bar(3500psig)
气动:206bar(3000psig)
气动执行器执行压力:4.2~6.2bar(60~90psig)
工作温度:PCTFE:-23~65°C(-10~150°F)
Vespel:-23~121°C(-10°~250°F)
泄漏率:内部:≤4.0^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
外部:≤4.0^(-9)大气压.毫升/秒 氦气
内通径:8.0mm(0.31in.)
流量系数:0.8
接口:3/8至1/2,8mm至12mm
流道特征:直通